Microsensores de silicio para presiones finas, serie 701x

Presentacion del componente

Descripcion

El microsensor de silicio 701 series (SmPs 701s) es un sensor diferencial de presion fina para detectar la presion por el cambio de resistividad de una resistencia de silicio cuando un estres mecanico externo es aplicado (en este caso: presion).
Nuestro concepto de diseño ha sido optimizado de acuerdo a las aplicaciones y tecnologias que permiten medidas de alta precision de la presion diferencial.
El diafragma de silicio es procesado en el orden de microns utilizando la tecnologia existente en micro-maquinaria.
El diseño fue elaborado en COVENTOR. Los pasos tecnologicos tienen un numero de 4 mascaras usadas para configurar las plantillas (nitrito de silicio, dioxido de silicio, metales, etc.)
La membrana tiene 1 x 1 mm2 y la totalidad del chip tiene 3 x 3 mm2. El sensor de presion esta integrado en tecnologia CMOS añadiendo procesos especiales de micro-maquinaria. La aplicacion de presion se ejerce en ambos lados del diafragma para su uso como sensor gauge o para presion diferencial.
Los dies son testados, empaquetados y distribuidos

Especificaciones

• Medidas compactas y precio reducido
• Pequeño margen de error lineal
• Alta sensibilidad y estabilidad
• Suministro para corriente y voltage
• RoHs flexible
• Puente piezoresistente
• Procesamiento de gases no agresivo para el aire (humedad 0-85% r.h.) sin condensacion.
• No apto para sustancias que reaccionan al cristal, silicio, niquel, aluminio, oro y gel de aluminio o silicio.
• Pantalla de medidas y orificio de ventilacion en la parte trasera
• Procesamiento de gases en el aire (humedad 0-100 r.h%)
• Conexion de presion a traves de tubos o varios hilos M5, M6, segun demanda del cliente.
• Sencillo PCB
• Bajo consumo de corriente
• Bajo ruido
• Sensor de temperatura PTC segun demanda

Dibujo esquematico del sensor dies

Aplicaciones

• Aplicaciones domesticas
• Tecnologia medica
• Medidas de altitud
• Proteccion del medio ambiente
• Controles industriales
• Automocion

Especificaciones

Caracteristicas electricas At Usupply = 5V, TO=25°C, unless otherwise specified

Fixed point setting; Pressure applied onto chip face; 3 Measured from 25°C to 85°C