SENZORI MEMS CHEMORESISTIVI / CALORIMETRICI PENTRU DETECTARE CO₂ si CH₄
Impachetare de senzor pentru detectare individuala de gaz
CHARACTERISTICS
~ Senzorii MEMS pentru CO₂ (dioxid de carbon) și CH₄ (metan) au principiul de operare bazat pe modificarea conductivității datorită chemisorbtiei si/sau efectelor calorimetrice de molecule de gaz pentru a fi detectate la suprafața stratului sensibil.
~ Iincalzirea integrata constă intr-un strat de polisiliciu sub zona activă. Un rezistor sensibil de temperatura va permite un control precis al temperaturii. Senzorul este integrat ca MEMS în tehnologia CMOS compatibil prin adăugarea de procese speciale de microprelucrare.
~ Diferite filme polimerice de senzitivitate gaze urmand a fi analizate, schimbări de conductanță în prezența concentrației gazelor mici la nivel de ppm.
~ Sensibilitatea și stabilitatea de senzori MEMS sunt corespunzătoare pentru aplicații în timpul măsurării, la temperatura camerei, a aerului poluat sau de detectare a noxelor de aer.
~ In unele cazuri, o temperatură de până la 300 ° ar putea fi aplicata pentru curățarea polimerului sensibil pentru a reutiliza senzorul.
~ Design-ul de produs prin utilizarea software-ului specializat CONVENTOR pentru simulare–modelare MEMS/senzor cu tehnologiile microprocesării rezumate în mod specific pentru fiecare tip de mai jos:
Senzorul calorimetric pentru detectare de gaz combustibil CH4 functioneaza între 300-500⁰C si este format din:
~ Incalzire integrata (configuratie strat) amplasata pe membrana ceramica Si₃N₄, suspendata pe patru punti de suport
~ Stratul dielectric (SiO₂ sau ceramic) depus ca element de incalzire / izolat electric între electrozii de incalzire si detectare
~ Depunere sol gel Al²O³
~ Temperatura senzor din platina, electrod interdigital
* Senzor chemorezistiv pentru CO₂:
~ Incalzire integrata (strat cu configuratii), dielectric SiO₂;
~ Condensator electrod de senzor interdigital Ti/Pt or Ti/W/Au;
~ Strat de gaz sensibil SnO₂, când incalzirea reacționează cu moleculele de gaz, schimband rezistența condensatorului interdigital;
~ Căldura rezultată este detectata ca un dezechilibru al puntii în care este conectat senzorul.
Impachetare pentru senzori MEMS cu chip-uri integrate
AVANTAJE:
~ Creșterea reproductibilitatii;
~ Grad ridicat de miniaturizare senzori MEMS
~ Integrare microsistem (senzori, electrozi)
~ Consum redus de energie, aplicatii pentru dispozitive portabile;
~ Versatilitate ridicata de lucru ca senzori integrati sau individuali
~ Greutate foarte redusa ~3g
Senzor de gaz
APLICATII
~ Protecția mediului și monitorizarea
~ Aplicatii medicale si de sanatate
~ Instalații industriale și rețele de utilitati: alimentare,utilizare, distributie retele și instalații de producție
~ Tehnologiii de procesare chimica și biochimica
~ Industria de siguranță, apărare si aplicatii
~ Aparate rezidențiale și de uz casnic
CARACTERISTICI TEHNICE
Caracteristici electrice la +25°C
IDENTIFICARE PADURI, CODIFICARE SI REPARTIZARE
DATE DE MASURARE
Exemplu de date de măsurare pentru sensibilitatea senzorului de lucru ca micropelistor pentru detectare de metan
DIAGRAMA DE CONTROL A SENSIBILITATII DE IESIRE
