Senzori piezorezistivi din siliciu SmPs 801

Senzor de presiune

• Pe baza efectului piezorezistiv
• Senzorul piezorezistiv SmPs 801 sub forma de chip poate măsura presiunea aplicata pe suprafața sa
• Considerand partea din spate a chipului SmPs 801 drept cameră de presiune, care poate fi etansata cu sticlă, astfel încât sa formeze o sonda etansa pentru tipuri diferite de masurare a presiunii absolute sau relative: dacă sticla este etansata cu orificiul de aerisire, chipurile sunt astfel formate pentru masurarea tipurilor diferite de presiune respectiv presiune relativa sau diferentiala
• Fabricat dintr-o placheta de siliciu cu diametrul de 4 ", chipul pentru senzorul SmPs 801 este introdus in fabricatia de serie prin intermediul tehnologiei Sistem Micro-Electro-Mecanic (MEMS)
• Datorita tehnologiei avansate și de control a calității senzorului SmPs801, acesta corespunde producției de masă si performantei ridicate
• Chipurile (structurile ) sunt elemente cheie de detectare a valorii presiunii utilizate si a fabricatiei de traductoare
• Chipul senzorului SmPs 801 poate fi folosit pentru a măsura valori ale presiunii de la 0,2 la 1000 bar cu presiunie relativa sau absoluta, precizie pana la 0,25% fso (fso=ieșire pe scară largă
• Semnalul de ieșire este ieșirea in milivolti a puntii Wheatstone, disponibil la cerere curent constant de 1mA sau o tensiune constantă de 5V

Comanda sisteme de cod SmPs 60 - D - x - G8SmPs 60Nivel de presiune
Exemplu 0,20=0-20kPa
x-O-x Nivel de presiune specificată
SmPs DTipuri de presiune
G presiune relativa
A presiune absoluta
SmPs xDimensiuni
x-=P> 60 bar= 2,45x2,45x0,4 mm
y =P< 25 bar= 2,70x3,45x0,4 mm
SmPs G8Finisare
G8 = 0,8 mm grosime de bază din sticlă
N = fara sticla
Schema Lipire Pad și Conexiune electrică